东莞理工学院学报

2020, (03) 29-33

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激光刻蚀法加工平面传感器电极的工艺研究

张耿;黄捷讯;黄晓园;张绍强;郑华;叶海;

摘要(Abstract):

针对平面传感器对电极在外观、电学性能方面的特殊要求,设计了一种螺旋结构的叉指电极,并重点研究采用激光打标设备刻蚀制作ITO薄膜平面叉指电极时,工作功率、刻蚀速度、刻蚀刀数、填充间距等工艺参数对刻蚀效果的影响,探索出最佳的刻蚀工艺条件。研究结果表明,采用激光打标设备加工薄膜型平面电极,可满足平面气体传感器的实际应用需求。

关键词(KeyWords): 激光刻蚀;ITO薄膜;平面传感器;电极制作

Abstract:

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基金项目(Foundation):

作者(Author): 张耿;黄捷讯;黄晓园;张绍强;郑华;叶海;

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